10 мкм микро емкость межцифровой Золотой электрод MEMS оптический газ биосенсор фотоэлектрический обнаружения один электрод

10мкм вилка микроконденсатора относится к электроду MEMS оптический газовый биосенсор фотоэлектрическое Обнаружение Одного Электрода

1. Внешние размеры: 4,2 мм * 4,5 мм * 0,52 мм. 2. Расстояние между электродами 10 мкм 3. Подложка электрода-монокристаллический кремний, и SiO2 растет на поверхности кремниевой пластины толщиной 300 нм; 4. Структура металлического слоя: Cr/Au, с толщиной 30 нм и 100 нм соответственно; 5. Диапазон температур электрода:-150 C ~ 500 C; 6. Сопротивление электрода больше 100 t Ω (64%) при комнатной температуре, влажности; 7. В основном используется для различных химических, физических и медицинских датчиков с надежной производительностью и стабильным качеством.